何兴也是直接了当的说道:“根据我的计算,这样的方案,应该是改造了光源系统,也就是升级了光学临近效应引起的图像偏差校正算法。”
郭一点了点头,接着说道:“如你们所见,这半个月,我带领团队升级了这款光刻机的控制系统,其中最重要的一点,就是何工刚才说的光源系统的升级。”
“啊!”几乎所有的人都有些不可思议的叫出了声。
升级光源系统?
这不属于生产工艺改进的范畴。
这是属于对光刻机本身的改进啊。
大部分的人直到这个时候才明白之前自己所做的工作的意义,才明白为什么产线改造的方案为什么是这个样子的。
看到一群人如梦初醒的样子,郭一也是说道:
“新的手册已经发到你们手中了,这两天你们熟悉一下,之后我们就将正式开始7nm制程工艺芯片的第一次试制。”
所有人都急忙翻开手册,看着其中的所有改进的地方。
常凯和何兴也不例外,只不过,他们来跟其他人不一样,他们俩早就对整个流程有了明确的预计了,此时也只不过是确认一番。
他们直接就找到了关键点,果然,其中最重要的部分就是对光源校正的改进。
“常工,这修正算法的改进,比我计算中的数值还要更加精确,我甚至觉得,别说7nm了,就连5nm都可以一试!”何兴看着常凯说道。
“仅从算法来看,5nm是没问题。”常凯说着,紧接着摇了摇头:“但这超出13nm光源光刻的理论极限了。”
“常工,我觉得并非如此。”何兴说道:
“之前我们所言的理论极限,是基于之前的理论,郭工的理论不可以常理度之。
你看这儿,还有这儿,再加上这儿,这三处,好像延差都大了,但结合在一起,仅从数据上看,你看是多少,我刚算了,竟然是0。
你可知道,0意味着什么?即便加上实际操作中根本不可能避免的系统误差,这性能,也优化的太多了吧?”
“你等下,我看看。”这一看不打紧,常凯也直接被惊呆了。
校正算法在一定程度上可以提高精准度,只不过往常使用的算法都是补偿算法,而补偿算法本身肯定是要失去一定的精准度的。
就像一张老旧的照片,像素较低,利用算法补偿去修复,想修复的跟原本一模一样,那本身就是一件不可能的事儿。
但现在,经过一系列的操作,经过计算出来的数字竟然是100%。
“这是怎么做到的?”常凯和何兴没办法看到郭一的校正算法,但仅从这材料中的数据,他们竟然得出了这样一个不可思议的结论。
“只有一种可能,那就是这根本就不是一个补偿算法。”何兴说道:“绝对是郭工独创的一种印证算法,补偿算法是不可能做到百分之百的补偿的!”
……
其他人还在惊呼:哇,竟然是光源系统的改进时候,常凯和何兴已经把其中最关键的东西摸透了。
甚至由此推算出了郭一的算法不是补偿算法,而是印证算法。但怎么一个印证呢,他们俩不知道,但绝对是印证,是没错的。
所有人的反应郭一也都看在眼里,尤其是常凯和何兴的反应。
这一看就知道,这俩人早就猜出、或者说是算出了他的方案之核心,再看看俩人现在的状态,这绝对不是简单的人呐。