移动太慢了，光刻机的产量就不行，

这就要求它，在高速移动后，还得迅速且精准地停下，

停留的位置误差，还得在1nm以内，

但凡偏差大一点，整个晶圆就直接报废了！

这啥概念？

大概就是一辆高速行驶的汽车，突然紧急刹停，然后停下位置误差还不能超过1毫米。

不过这个难点，在今年5月份的时候，刚好被铪工大给搞定了，

他们研发出来的真空高速超精激光干涉仪，位移的分辨率达到了惊人的5pm，位移误差控制在了30pm！

要知道，1000pm才等于1nm！

0.03nm的位移误差，简直牛逼到不行！

康驰简直怀疑，他们是不是和自己一样开了挂……

讲真，华国能人还是挺多的，

如果不靠系统，康驰自己虽然也有一定的把握可以攻克这种技术，但时间就不知道要多久了……

所以康驰一直也不断地在提醒自己，虽然系统确实好用，但自己学习和理解的脚步同样不能停下。

这不但是为了在解析技术的时候，减轻自己的痛苦，免得突然暴毙，更是为以后万一出现精通点不够，需要自研的情况出现时，不至于两眼一抹黑啥也干不了。

总之EUV光刻机的大部分技术难点，其实华国都已经攻克或即将攻克了，只不过具体哪些能够复刻落地量产，还是个未知数。

为了得到答案，康驰特地打了个电话给吕首长。

当听到康驰问光刻机的事情，吕首长顿时就打起了精神，连忙问道：“你准备搞光刻机研发？”

“嗯，有这个想法。”

“搞光刻机好啊！嗯……不过你不是忙着量产采油虫吗？哪来这么多的时间精力研发光刻机？”

“抽空玩玩呗……”

“……”

随后康驰又在吕首长的沉默中，咨询了关于常春光所EUV光源系统，和铪工大双工件台系统研究情况。

“嗯……他们确实都有了一定的突破，但具体到了什么技术节点，还有多久能实际落地，我也说不准……你可以找张院士问问，这方面他比较清楚。”

于是康驰挂了电话后，又拨通了张达远的电话，

结果张达远一听康驰的问题，直接就说电话上讲不清楚，让他过去燕京面谈。

康驰强烈怀疑，这老头就是想把他骗过去，忽悠他搞那个啥稳态微聚束光源，

但为了争取缩短光刻机研制周期的机会，康驰也不得不从了他……

反正过去后任他怎么说，康驰就是不跟他干，

他还能把康驰给扣了不成？

……

经过了两个多小时飞行，康驰在天黑前就抵达了燕京国际机场，

前来接机的是陈海的同事，三人汇合后，便直奔HEPS项目部。

经过层层安检和报备，康驰终于项目部里面，见到了带着安全帽，穿得像工地工人的张达远。

看到这个已经年近七十的老人，竟然还能精神抖擞地深居一线，亲自参与实验工程的建设，康驰也不禁感到有些佩服。

“张院士，好久不见了。”

刚见面，康驰便主动和他握了握手，赞叹道：“您可真是宝刀未老啊。”

“那必须的。”张达远得意地拉着康驰，“走走走，先带你参观参观。”

面对张达远的热情，康驰自然也不好拒绝，

何况他本人，其实对这里也挺好奇的，于是便跟着张达远，在这个正在建设中的高能同步辐射光源里面，简单地转了一圈。