当然是光源的波长越短越好。

因为波长越短，蚀刻越精确，同时电路的集成性越高。

紫光，无疑是常见光线中波长最短的光，是最佳的选择。

还有没有比紫光波长更短的光呢？

有，紫外线。

紫外线波长范围大约为5nm400nm，而紫光波长在380450nm之间，紫外线明显要短得多。

那么还有没有吧里紫外线的波长更短的光呢？

有！

极紫外线！

在姜辰的引导下，极紫外线最终成了光源的最佳选择。

那极紫外线怎么获得呢？

新一轮的头脑风暴开始。

有人提出，在三万度高温下，锡会转化为离子体状态，从而发出极紫外光。

那么又要怎么讲锡加热到三万度呢？

高功率二氧化碳激光束！

激光束通过特殊的真空密封光束管，聚焦到微小的锡滴上，可将其加热至超过3万度高温。

问题又来了，高功率二氧化碳激光束怎么获得，三万度高温又需要什么器具来承载？

每一个方案的诞生，就会有无数新的问题出现。

这就是一个反推的过程。

然后将这些问题一一找到解决方案，这就是研发的过程。

当从理论上解决了技术问题，就要开始发展技术，进入实操，这就是落地的过程。

讨论非常的激烈，在数天的探讨之后，大家终于把想象得到的问题，都初步探讨出了解决方案。

新的问题有出现了。

即便通过以上方法获得了极紫外线，但并不是纯粹的极紫外线。

又要用什么方法来获得单一的极紫外线了？

新的探讨在此展开。

采用高低折射率材料交替制备的多层膜结构，来分离出极紫外线是最好的选择。

那么这个膜该用什么材料？有需要多层膜才能将其他光线全部折射出去呢？各层膜直接的角度怎么设置更加科学呢？

通过理论加计算，可以得出大致的方向。

具体的结果，就需要通过实验来验证。

陶坛完这个问题大家才发现，单单极紫外线的获取这一点的复杂程度，就远远超过了之前大家初次探讨画出来的草图。

二者，还只是光刻机中最为简单的技术。

直到此时，大家才知道要研制出这个东西来，并不是大家想象中的那么简单。

给众人打了个板之后，姜辰便让大家按照这个流程，继续对剩下的技术进行探讨和细分。

直到每一个环节都考虑到位。

当然这些技术，现在种家的工业基础和布局，根本都无法完成光刻机的制作。

不管是光源、光学系统、物镜、掩模、晶圆台，还是曝光系统和对焦系统，没有一个是能够搞定的。

这个时候，就需要通过探讨的结果来进行逐级反推。

要达成这些技术，需要哪些产业的支持。

这些产业又需要什么技术，才能达成支持所需的要求。

甚至有的探讨出来的东西，并不一定是正确的。

他还需要在真正实验室制作的过程中，继续的调整和改善。

一开始，他并没有堵光刻机的精度提出具体的要求。

不管多少精度，先制作出一台来。

大家有了经验，才能知道该从哪些方面努力，来提升光刻机的精度。

(本章完)