并且直接送到了中科院的实验室里。
眼见机器组装完成,方白的眼里也不禁露出喜色。
不出意外的话,晶圆项目组最后一个难关也要被突破了。
只待光刻胶完成,龙国的芯片产业就不会有任何一个方面被国外掣肘了。
“小方。既然是你设计出来的机器,这第一次切割实验,还是让你来主持吧。”
张院士说道。
虽然此次项目没有规定主导者。
但资历老地位又更高的张院士无疑是隐性的指挥。
现在他要把这个指挥,让给这台机器的设计者,方白来进行。
“好的。”
方白没有推辞。
他也想知道,自己设计出的这台机器。
到底有没有预想中的效果。
系统给的只是相关的技术。
这台把众多装置统合在一起的机器。
其实是方白自己的想法。
成功与否,就要看实验结果了。
“去取光刻胶来,切割完之后马光刻机直接测试!”
立马有人去把光刻胶取来。
一切准备就绪后。
方白看着单晶硅棒被放进去。
然后牢牢固定好。
他深吸一口气,启动了机器。
机器轰鸣的声音响起。
在场的所有人都紧张地看过去。
时间一分一秒地缓慢过去。
机器沉闷的轰鸣声逐渐减弱。
直到完全停止。
“成功了?”
有人紧张地问道。
“还没有,这只是刚切割完成而已。”
“接下来还有清洗打磨的程序。”
同样紧张的方白回答道。
不过最容易出差错的就是这个切割过程。
现在看来,并没有出现什么问题。
接下来,只需要等晶圆打磨完毕即可。
机器运作的声音再次响起。
又将是一段漫长的等待。
但没过多久,实验室的门被打开。
方白的老师刘院士过来了。
“小方,你们开始测试切割了?等下涂胶的时候用我们最新调配出来的光刻胶试试。”
他手里拿着一个大袋子,装着几个黑色不透光的柱形物体。
看来里面装的应该就是最近研究出来的光刻胶了。
“好的老师,不过切割打磨的工序还在进行中,等下才知道结果。”
守在机器前的方白见老师过来了,转过身来说道。
“那我也在这里等着吧,打磨完成之后一起去测试。”
刘院士找了个位置,也开始等待晶圆打磨完成的那个时刻。
等待的时间总是很漫长。
好在最后的结果并没有让人失望。
晶圆的清洗打磨并没有出现失误!
“快快快,把晶圆放进涂胶机里,用我带来的这几瓶。”
“每一种都涂几片,看一下哪一种更好。”
看见晶圆成功切割打磨完毕,刘院士连忙凑过来喊道。
他带过来的三瓶光刻胶被轮流放进涂胶机。
最后出来的就是已经涂胶完毕的十二寸晶圆。
方白小心翼翼地将涂胶完毕的晶圆放进特制的盒子。
一行人开始往中科院另一边,放着光刻机的实验室进发。
无论晶圆看起来如何完美,最后还是要进行光刻之后才知道行不行。
而现在,就是检验成果的时候了。
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